001 avmolOPAC2008-3718
080 $a666.65:621.382](075.8)
100 $aWaczyński, Krzysztof.
245 $aTechnologie mikroelektroniczne $cKrzysztof Waczyński, Edyta Wróbel $nCz. 1 $pMetody wytwarzania materiałów i struktur półprzewodnikowych
260 $aGliwice $bWydaw. PŚ $c2001
300 $a258, [1] s. $bil. $c24 cm
440 $a[Skrypty Uczelniane / Politechnika Śląska] $x0434-0825 $v2244
500 $aBibliogr
650 $aMikroelektronika $xmateriały $xpodręcznik akademicki
650 $aPółprzewodniki $xtechnologia $xpodręcznik akademicki
700 $aWróbel, Edyta.
920 $a83-88000-88-8