Technologie mikroelektroniczne. Cz. 1 , Metody wytwarzania materiałów i struktur półprzewodnikowych / Krzysztof Waczyński, Edyta Wróbel
Gliwice : Wydaw. PŚ, 2001. - 258, [1] s. : il. ; 24 cm
([Skrypty Uczelniane / Politechnika Śląska], ISSN 0434-0825 ; 2244)
Bibliogr
ISBN 83-88000-88-8

Mikroelektronika - materiały - podręcznik akademicki ; Półprzewodniki - technologia - podręcznik akademicki

666.65:621.382](075.8)